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Hexamethyldisilazan CAS 999-97-3
Chemischer Name : Hexamethyldisilazan
Synonyme Namen :1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin；BIS(TRIMETHYLSILYL)AMIN；HEXAMETHYLDISILYLAMIN
CAS-Nr. :999-97-3
Molekülformel :C6H19NSi2
Molekülgewicht :161,39
EINECS Nein :213-668-5
- Parameter
- Verwandte Produkte
- Anfrage
Strukturformel ：
Produktbeschreibung ：
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Artikel |
TECHNISCHE DATEN |
|
Erscheinung |
Farbloses durchsichtiges Flüssigkeitsgemisch |
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Gehalt,% |
99,0 min. |
|
Siedepunkt(℃) |
125 |
|
Aufflammtemperatur(℃) |
8.0 |
|
Farbe |
20MAX |
|
Chlorion |
50 max |
Eigenschaften und Verwendung :
Hexamethyldisilazan (CAS 999-97-3), kurz HMDS genannt, ist ein wichtiges Organosilanverbindung, das in der Halbleiterindustrie, chemischer Synthese und industriellen Oberflächenbehandlung verwendet wird.
1. Halbleiterindustrie und Oberflächenbehandlung
HMDS wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zur Reinigung und hydrophoben Oberflächenbehandlung von Siliziumwafern verwendet. Es verbessert die Hydrophobität der Siliziumoberfläche durch Silanisierung, verhindert die Aufnahme von Feuchtigkeit und Schadstoffen und erhöht damit die Leistungsfähigkeit der Wafer.
2. Synthese von Organosilanverbindungen
Als wichtiger Vorläufer von Organosilanverbindungen wird HMDS zur Herstellung von Organosilanharzen, Silikonölen und Silancouplingmitteln verwendet.
3. Dampfphasenabscheidung (CVD)
Im Prozess der Dampfphasenabscheidung wird HMDS oft als Ausgangsmaterial für die Abscheidung von Siliziumdünnfilmen verwendet, insbesondere bei der Fertigung von Integrierten Schaltungen und Mikroelektronikgeräten, um durch die Verbesserung der Filmlagequalität die hohe Leistungsfähigkeit des Produkts sicherzustellen.
4. Korrosionsschutz und Oberflächenaktivität
HMDS kann als Korrosionshemmer in anspruchsvollen Schutzgebieten wie Luft- und Raumfahrt sowie Automobilbau eingesetzt werden, um Metallflächen vor Oxidation zu schützen. Es wird auch als Tensid verwendet, um die hydrophoben Eigenschaften und Korrosionsbeständigkeit verschiedener Materialien (wie Glas, Metall und Kunststoff) zu verbessern.
5. Organische Synthese und Polymermodifizierung
In der organischen Synthese wird HMDS als Schutzmittel oder Modifikator verwendet, insbesondere im Modifikationsprozess von Polymermaterialien wie Gummi und Kunststoff, um die Hochtemperaturfestigkeit und Oxidationsbeständigkeit des Materials zu erhöhen und wird bei der Herstellung leistungsstarker Beschichtungen und Klebstoffe eingesetzt.
Lagerbedingungen: In einer trockenen Atmosphäre sollte das Produkt verschlossen aufbewahrt werden
Verpackung: Dieses Produkt wird in 25kg-Fässern verpackt und kann auch nach Kundenwünschen angepasst werden.
