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Hexamethyldisilazan CAS 999-97-3

Chemischer Name: Hexamethyldisilazan

Synonyme Namen:1,1,1-Trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin; BIS(TRIMETHYLSILYL)AMIN; HEXAMETHYLDISILYLAMIN

CAS-Nr: 999-97-3

Summenformel:C6H19NSi2

Molekulargewicht: 161.39

EINECS Nein: 213-668-5

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Strukturformel:  

Beschreibung:

Artikel

Spezifikationen

Aussehen

Farblose, transparente Flüssigkeit

Gehalt, %

99.0 min.

Siedepunkt (℃)

125

Flammpunkt (℃)

8.0

Farbe

20max

Chlorid

50 max

 

Eigenschaften u Anwendungsbereich:

Hexamethyldisilazan (CAS 999-97-3), kurz HMDS, ist eine wichtige Organosiliziumverbindung, die in Halbleitern, der chemischen Synthese und der industriellen Oberflächenbehandlung verwendet wird.

1. Halbleiterindustrie und Oberflächenbehandlung

HMDS wird in der Halbleiterindustrie hauptsächlich zur Reinigung und hydrophoben Oberflächenbehandlung von Siliziumwafern verwendet. Es verbessert die Hydrophobie der Siliziumoberfläche durch eine Silanisierungsreaktion, verhindert die Aufnahme von Feuchtigkeit und Schadstoffen und verbessert so die Leistung des Wafers.

 

2. Synthese von Organosiliciumchemikalien

Als wichtiger Vorläufer von Organosiliciumchemikalien wird HMDS zur Synthese von Organosiliciumharzen, Silikonölen und Silankupplungsmitteln verwendet.

 

3. Gasphasenabscheidung (CVD)

Im Dampfabscheidungsprozess wird HMDS häufig als Ausgangsmaterial für die Abscheidung dünner Siliziumfilme verwendet, insbesondere bei der Herstellung integrierter Schaltkreise und mikroelektronischer Geräte, um durch Verbesserung der Qualität der Filmschicht die hohe Leistung des Produkts sicherzustellen.

 

4. Korrosionsschutz und Oberflächenaktivität

HMDS kann als Korrosionsschutzmittel in anspruchsvollen Schutzbereichen wie der Luft- und Raumfahrt und im Automobilbereich eingesetzt werden, um Metalloberflächen vor Oxidation zu schützen. Es wird auch als Tensid verwendet, um die Hydrophobie und Korrosionsbeständigkeit verschiedener Materialien (wie Glas, Metall und Kunststoff) zu verbessern.

 

5. Organische Synthese und Polymermaterialmodifizierung

In der organischen Synthese wird HMDS als Schutzmittel oder Modifikator verwendet, insbesondere im Modifizierungsprozess von Polymermaterialien wie Gummi und Kunststoff, um die Hochtemperaturbeständigkeit und Oxidationsbeständigkeit des Materials zu verbessern, und wird bei der Herstellung von Hochleistungsbeschichtungen und Klebstoffen verwendet.

 

Lagerbedingungen: In trockener Atmosphäre sollte das Produkt versiegelt und gelagert werden

Verpackung: Dieses Produkt ist in 25 kg-Fässern verpackt und kann auch nach Kundenwunsch angepasst werden.

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