เฮกซาเมทิลไดซิลาเซน CAS 999-97-3
ชื่อสารเคมี: เฮกซะเมทิลไดซิลาเซน
ชื่อพ้องความหมาย:1,1,1-ไตรเมทิล-เอ็น-(ไตรเมทิลซิลิล)-ซิลานามิน;บิส(ไตรเมทิลซิลิล)เอมีน;เฮกซะเมทิลดิสซิลิลลามีน
หมายเลข CAS: 999-97-3
สูตรโมเลกุล:C6H19NSi2
น้ำหนักโมเลกุล: 161.39
ไอเนคส์ ไม่: 213-668-5
- พารามิเตอร์
- รายการสินค้า ที่เกี่ยวข้อง
- สอบถามข้อมูล
สูตรโครงสร้าง:
รายละเอียดสินค้า :
รายการ |
ข้อบ่งชี้จำเพาะ |
ลักษณะ |
ของเหลวใสไม่มีสี |
การทดสอบ% |
นาที 99.0 |
จุดเดือด(℃) |
125 |
จุดวาบไฟ(℃) |
8.0 |
สี |
20max |
คลอริออน |
50 สูงสุด |
คุณสมบัติและ การใช้:
เฮกซะเมทิลไดซิลาเซน (CAS 999-97-3) เรียกอีกอย่างว่า HMDS เป็นสารประกอบออร์กาโนซิลิกอนที่สำคัญที่ใช้ในเซมิคอนดักเตอร์ การสังเคราะห์ทางเคมี และการบำบัดพื้นผิวในอุตสาหกรรม
1. อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการบำบัดพื้นผิว
HMDS ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นหลักในการทำความสะอาดและการบำบัดพื้นผิวแบบไฮโดรโฟบิกของเวเฟอร์ซิลิกอน โดยจะปรับปรุงคุณสมบัติไฮโดรโฟบิกของพื้นผิวซิลิกอนผ่านปฏิกิริยาไซลาไนเซชัน ป้องกันการดูดซับความชื้นและมลพิษ จึงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของเวเฟอร์
2. การสังเคราะห์สารเคมีออร์กาโนซิลิกอน
HMDS เป็นสารตั้งต้นที่สำคัญของสารเคมีออร์กาโนซิลิกอน โดยใช้ในการสังเคราะห์เรซินออร์กาโนซิลิกอน น้ำมันซิลิโคน และตัวแทนการจับคู่ไซเลน
3. การสะสมไอ (CVD)
ในกระบวนการสะสมไอ HMDS มักใช้เป็นวัตถุดิบต้นทางสำหรับการสะสมฟิล์มซิลิกอนบาง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เพื่อให้แน่ใจถึงประสิทธิภาพสูงของผลิตภัณฑ์โดยการปรับปรุงคุณภาพของชั้นฟิล์ม
4. ป้องกันการกัดกร่อนและกิจกรรมพื้นผิว
HMDS สามารถใช้เป็นสารป้องกันการกัดกร่อนในสาขาการป้องกันที่มีความต้องการสูง เช่น อุตสาหกรรมอวกาศและยานยนต์ เพื่อปกป้องพื้นผิวโลหะจากการเกิดออกซิเดชัน นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารลดแรงตึงผิวเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติการไม่ชอบน้ำและความต้านทานการกัดกร่อนของวัสดุต่างๆ (เช่น แก้ว โลหะ และพลาสติก)
5. การสังเคราะห์สารอินทรีย์และการดัดแปลงวัสดุโพลีเมอร์
ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ HMDS ใช้เป็นสารป้องกันหรือสารปรับเปลี่ยน โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการปรับเปลี่ยนวัสดุโพลีเมอร์ เช่น ยางและพลาสติก เพื่อเพิ่มความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของวัสดุ และใช้ในการผลิตสารเคลือบและกาวประสิทธิภาพสูง
สภาพการเก็บรักษา: ในบรรยากาศแห้ง ควรปิดผนึกและจัดเก็บผลิตภัณฑ์
การบรรจุ: ผลิตภัณฑ์นี้บรรจุในถังขนาด 25 กก. และยังสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า