ヘキサメチルジシラザン CAS 999-97-3

化学名: ヘキサメチルジシラザン

同義名:1,1,1-トリメチル-n-(トリメチルシリル)シラナミン；ビス(トリメチルシリル)アミン；ヘキサメチルジシリルアミン

CASいいえ：999-97-3

分子式:C6H19NSi2

分子量：161.39

EINECS いいえ：213-668-5

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構造式：

製品説明：

プロパティと 使用法:

ヘキサメチルジシラザン (CAS 999-97-3) は HMDS とも呼ばれ、半導体、化学合成、工業用表面処理に使用される重要な有機ケイ素化合物です。

1. 半導体産業と表面処理

HMDS は主に半導体業界でシリコンウェーハの洗浄と表面疎水化処理に使用され、シラン化反応によりシリコン表面の疎水性を向上させ、水分や汚染物質の吸着を防ぎ、ウェーハの性能を向上させます。

2. 有機ケイ素化合物の合成

HMDS は有機ケイ素化学物質の重要な前駆物質として、有機ケイ素樹脂、シリコーンオイル、シランカップリング剤の合成に使用されます。

3. 蒸着（CVD）

蒸着プロセスでは、HMDS はシリコン薄膜の蒸着の原料としてよく使用され、特に集積回路やマイクロ電子デバイスの製造において、膜層の品質を向上させることで製品の高性能を確保します。

4. 耐腐食性と表面活性

HMDS は、航空宇宙や自動車など、保護需要の高い分野で金属表面を酸化から保護する防錆剤として使用できます。また、さまざまな材料 (ガラス、金属、プラスチックなど) の疎水性と耐腐食性を向上させる界面活性剤としても使用されます。

5. 有機合成と高分子材料の改質

有機合成において、HMDS は保護剤または改質剤として使用され、特にゴムやプラスチックなどのポリマー材料の改質プロセスにおいて、材料の耐高温性および耐酸化性を高め、高性能コーティング剤や接着剤の製造に使用されます。

保管条件： 乾燥した環境では、製品を密封して保管する必要があります。

梱包： この製品は25kgドラムに梱包されており、顧客の要件に応じてカスタマイズすることもできます。

添加剤と触媒