ヘキサメチルジシラザン CAS 999-97-3

化学名 : ヘキサメチルジシラザン

同義語名 :1,1,1-トリメチル-n-(トリメチルシロイル)-シランアミン；BIS(TRIMETHYLSILYL)アミン；ヘキサメチルジシラニルアミン

CAS No :999-97-3

分子式 :C6H19NSi2

分子量 :161.39

EINECS いいえ :213-668-5

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製品の説明 ：

特性と 使用法 :

ヘキサメチルジシラザン (CAS 999-97-3) は、HMDS とも呼ばれ、半導体、化学合成、工業表面処理に使用される重要な有機シリコン化合物です。

1. 半導体産業および表面処理

HMDSは主に半導体産業で使用され、シリコンウェハーのクリーニングと表面疎水化処理に使われます。シラン化反応を通じてシリコン表面の疎水性を向上させ、水分や汚染物質の吸着を防ぎ、その結果ウェハーの性能を向上させます。

2. 有機シリコン化合物の合成

HMDSは有機シリコン化合物の重要な前駆体として、有機シリコン樹脂、シリコーンオイル、およびシランカップリング剤の合成に使用されます。

3. 気相成長 (CVD)

気相成長プロセスでは、HMDSがシリコン薄膜の堆積のためのソース材料としてよく使用され、特に集積回路やマイクロ電子デバイスの製造において、膜層の品質を向上させることで製品の高性能を確保します。

4. 防錆および表面活性

HMDSは、航空宇宙や自動車などの高要求保護分野で使用され、金属表面を酸化から保護する防腐剤として機能します。また、ガラス、金属、プラスチックなどのさまざまな材料の防水性と耐食性を向上させるための界面活性剤としても使用されます。

5. 有機合成およびポリマーマテリアルの改質

有機合成において、HMDSは特にゴムやプラスチックなどのポリマー素材の改質プロセスにおける保護剤または改質剤として使用され、素材の高温耐性や酸化耐性を向上させ、高性能塗料や接着剤の製造に用いられます。

保管条件： 乾燥した大気中では、製品を密封して保管してください

梱包： この製品は25kgドラムでパッケージされており、顧客の要件に応じてカスタマイズすることもできます。

添加物および触媒