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헥사메틸디실아제인 CAS 999-97-3

화학 명칭 : Hexamethyldisilazane

동의어 :1,1,1-트리메틸-n-(트리메틸실릴)-실란아민; BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE; HEXAMETHYLDISILYLAMINE

CAS 번호 :999-97-3

분자 공식 :C6H19NSi2

분자량 :161.39

EINECS 아니요 :213-668-5

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구조식   

Hexamethyldisilazane CAS 999-97-3 factory

제품 설명

항목

제품 사양

외관

무색 투명 액체

함량,%

99.0 최소

끓는점(℃)

125

화재점(℃)

8.0

색상

20최대

염소

50 이하

 

특성 및  사용 :

Hexamethyldisilazane (CAS 999-97-3), HMDS로 불리며, 반도체, 화학 합성 및 산업 표면 처리에 사용되는 중요한 유기 실리콘 화합물입니다.

1. 반도체 산업 및 표면 처리

HMDS는 주로 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼의 청소 및 표면 수소화 처리에 사용됩니다. 이는 실란화 반응을 통해 실리콘 표면의 수소화를 향상시키고, 습기와 오염물질의 흡착을 방지하며, 이를 통해 웨이퍼의 성능을 향상시킵니다.

 

2. 유기실리콘 화학물질의 합성

HMDS는 중요한 유기실리콘 화학물질 전구체로서, 유기실리콘 수지, 실리콘 오일 및 실란 결합제를 합성하는 데 사용됩니다.

 

3. 기상 증착 (CVD)

기상 증착 공정에서 HMDS는 종종 실리콘 박막의 증착에 대한 소재로 사용되며, 특히 집적 회로 및 마이크로전자 장치 제조에서 필름층의 품질을 개선하여 제품의 고성능을 보장합니다.

 

4. 방부제 및 표면 활성

HMDS는 항공우주 및 자동차와 같은 고성능 보호 분야에서 금속 표면이 산화하는 것을 방지하기 위한 방부제로 사용될 수 있습니다. 또한 유리, 금속, 플라스틱과 같은 다양한 재료의 방수성과 부식 저항성을 향상시키기 위해 계면활성제로도 사용됩니다.

 

5. 유기 합성 및 고분자 재료 개질

유기 합성에서 HMDS는 보호제 또는 수정제로 사용되며 특히 고무 및 플라스틱과 같은 고분자 재료의 수정 과정에서 재료의 내열성 및 산화 저항성을 향상시키고, 고성능 코팅 및 접착제의 생산에 사용됩니다.

 

보관 조건: 건조한 대기 중에서는 제품을 밀봉하여 보관해야 합니다

포장: 본 제품은 25kg 드럼에 포장되며, 고객 요구 사항에 따라 맞춤형으로 제작할 수도 있습니다.

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