헥사메틸디실라잔 CAS 999-97-3
화학 이름: 헥사메틸디실라잔
동의어 이름:1,1,1-트리메틸-n-(트리메틸실릴)-실라나민;비스(트리메틸실릴)아민;헥사메틸디실릴아민
CAS 번호: 999-97-3
분자식:C6H19NSi2
분자량: 161.39
EINECS 아니: 213-668-5
- 매개 변수
- 관련 상품
- 문의
구조식:
여행지 설명:
항목 |
제품 사양 |
외관 |
무색투명한 액체 |
시험,% |
99.0 분. |
비등점(℃) |
125 |
인화점(℃) |
8.0 |
색상 |
20max |
클로로온 |
50 최대 |
속성 및 용법:
헥사메틸디실라잔(CAS 999-97-3)은 HMDS로 불리며, 반도체, 화학 합성, 산업용 표면 처리에 사용되는 중요한 유기규소 화합물입니다.
1. 반도체 산업 및 표면처리
HMDS는 주로 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼의 세척 및 표면 소수성 처리에 사용됩니다. 실란화 반응을 통해 실리콘 표면의 소수성을 개선하고, 습기 및 오염 물질의 흡착을 방지하여 웨이퍼의 성능을 향상시킵니다.
2. 유기규소화학물질의 합성
HMDS는 유기규소 화학물질의 중요한 전구체로서, 유기규소 수지, 실리콘 오일, 실란 커플링제를 합성하는 데 사용됩니다.
3. 기상증착(CVD)
증기 증착 공정에서 HMDS는 종종 실리콘 박막 증착을 위한 원료로 사용되며, 특히 집적 회로와 마이크로 전자 장치 제조 시 박막 층의 품질을 개선하여 제품의 고성능을 보장합니다.
4. 부식방지 및 표면활성
HMDS는 항공우주 및 자동차와 같은 수요가 많은 보호 분야에서 부식 방지제로 사용하여 금속 표면을 산화로부터 보호할 수 있습니다. 또한 다양한 재료(예: 유리, 금속 및 플라스틱)의 소수성과 내식성을 개선하기 위한 계면활성제로도 사용됩니다.
5. 유기합성 및 고분자소재 개질
유기 합성에서 HMDS는 보호제 또는 개질제로 사용되며, 특히 고무 및 플라스틱과 같은 고분자 재료의 개질 공정에서 재료의 고온 저항성과 산화 저항성을 향상시키고 고성능 코팅 및 접착제 생산에 사용됩니다.
저장 조건 : 건조한 환경에서는 제품을 밀봉하여 보관해야 합니다.
포장 : 본 제품은 25kg 드럼에 포장되며, 고객 요구사항에 맞춰 맞춤 제작도 가능합니다.